| 氢化非晶硅薄膜光衰退稳定性的影响因素 |
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| 引用本文： | Ma Zhanjie,马占洁,陈光华,何斌,刘国汉,朱秀红,张文理,李志中,郜志华,宋雪梅,邓金祥. 氢化非晶硅薄膜光衰退稳定性的影响因素[J]. 真空科学与技术学报, 2006, 26(Z1): 98-100 |
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| 作者姓名： | Ma Zhanjie 马占洁 陈光华 何斌 刘国汉 朱秀红 张文理 李志中 郜志华 宋雪梅 邓金祥 |
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| 作者单位： | 1. 北京工业大学,新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022
2. 兰州大学,物理科学与工程学院,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 用热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积制备样品,通过红外吸收谱图和光衰退图,分析影响a-SiH薄膜光衰退稳定性的因素一方面,非晶硅网格中氢含量、氢硅键合方式以及氢的运动情况均对非晶硅材料的稳定性起着十分重要的作用,另一方面,在非晶硅的基体上生长少量微晶硅,可提高薄膜的稳定性.最终希望能通过两者的结合来探讨如何制备高光敏性和低光致衰退的非晶硅薄膜.
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| 关 键 词： | 光衰退稳定性 氢运动 微晶硅 |
| 文章编号： | 1672-7126(2006)增-0098-03 |
| 修稿时间： | 2005-09-01 |
Light Degradation Stability of a-Si:H Films |
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| Ma Zhanjie. Light Degradation Stability of a-Si:H Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2006, 26(Z1): 98-100 |
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| Authors: | Ma Zhanjie |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | a-Si:H |
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