|
|||||
|
|
| 我国真空与薄膜产业发展的新机遇 | |
| 作者姓名： | 陈国平 茅昕辉 |
| 作者单位： | 东南大学薄膜研究所 |
| 摘 要： | 本文简要介绍了平板显示器件（ＦＰＤ）近年来的飞速发展，论述了ＦＰＤ对薄膜的要求和常用于ＦＰＤ生产的三种类型的薄膜沉积设备，指出这是我国真空与薄膜产业发展的一次新的极好机遇。 |
| 关 键 词： | 薄膜 真空设备 平板显示器件 产业化 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |