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SmCo薄膜的不均匀晶化及其磁性能
引用本文:祝要民,李晓园,宋晓平,陈强. SmCo薄膜的不均匀晶化及其磁性能[J]. 中国有色金属学报, 2004, 14(4): 587-590
作者姓名:祝要民  李晓园  宋晓平  陈强
作者单位:1. 西安交通大学,理学院,西安,710049;河南科技大学,材料工程系,洛阳,471039
2. 西安交通大学,理学院,西安,710049
摘    要:采用不同的磁控溅射和回火工艺制备了SmCo磁性薄膜.用能谱仪对不同工艺溅射的样品进行了化学成分分析; 用透射电子显微镜和振动样品磁强计(VSM)研究了薄膜的显微结构和磁性能.结果表明: 溅射态的薄膜为非晶态并具有软磁特征; 当回火温度位于400~ 450℃之间时, 薄膜的微观组织均匀细小, 且随着回火温度增加, 矫顽力增大, 并在450℃回火的样品中得到了最大的矫顽力.回火温度500℃后, 薄膜微观组织中晶粒出现了不均匀粗化, 矫顽力明显降低.

关 键 词:SmCo薄膜  晶化  显微组织  磁性能
文章编号:1004-0609(2004)04-0587-04
修稿时间:2003-07-16

Asymmetry crystallization and magnetism of SmCo film
ZHU Yao-min. Asymmetry crystallization and magnetism of SmCo film[J]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2004, 14(4): 587-590
Authors:ZHU Yao-min
Affiliation:ZHU Yao-min~
Abstract:
Keywords:SmCo film  crystallization  microstructure  magnetic properties
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