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双极集成电路的闭锁通道
引用本文:M.P.Baze,A.H.Johnston,成福康.双极集成电路的闭锁通道[J].微电子学,1987(6).
作者姓名:M.P.Baze  A.H.Johnston  成福康
作者单位:波音航空航天公司,波音航空航天公司
摘    要:采用各种实验技术的综合方法,发现了双极集成电路中的闭锁通道。用电压衬度扫描电子显微技术作为分析闭锁通道的内部探测。从6种器件上获得的数据表明,各种不同的通道组合和相互作用是造成闭锁的原因。

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