MEMS国内外发展状况及我国MEMS发展战备的思考 |
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作者姓名: | 孙立宁 周兆英 等 |
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作者单位: | 国家“863”计划机器人技术主题专家组(孙立宁,周兆英),国家“863”计划机器人技术主题专家组(龚振邦) |
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摘 要: | 一、前言MEMS(MicroElectroMechanicalSystems,微机电系统 )是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术 ,是未来的主导产业之一。MEMS以其微型化的优势 ,在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的应用前景。针对国际MEMS发展趋势和未来的产业化前景 ,结合我国社会经济发展的需要和国家竞争前核心技术发展战略 ,国家科技部拟将MEMS确定为“十五”863计划重大专项。针对这一形势 ,在前期MEMS发展战略研究的基础上 ,本文将介绍MEMS国内外发展状况 ,探讨我国MEMS…
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关 键 词: | 微机电系统 MEMS 集成电路 发展战略 |
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