| 一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关 |
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| 引用本文： | 黄蓉,焦继伟,王跃林. 一种新型腔体式共面波导型微机械射频开关[J]. 功能材料与器件学报, 2004, 10(3): 350-354 |
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| 作者姓名： | 黄蓉 焦继伟 王跃林 |
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| 作者单位： | 传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100039;传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
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| 摘 要： | 提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径。在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000μm×600μm×300μm的射频开关,驱动电压为35V,在射频信号频率为50MHz到10GHz的范围内,该开关的插入损耗低于2dB,隔离度高于40dB。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 射频开关 共面波导 |
| 文章编号： | 1007-4252(2004)03-0350-05 |
| 修稿时间： | 2003-11-07 |
Design and analysis of novel RF MEMS switches with coplanar waveguide based on cavity structure |
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| HUANG Rong,,JIAO Ji-wei,WANG Yue-lin. Design and analysis of novel RF MEMS switches with coplanar waveguide based on cavity structure[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2004, 10(3): 350-354 |
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| Authors: | HUANG Rong JIAO Ji-wei WANG Yue-lin |
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| Affiliation: | HUANG Rong1,2,JIAO Ji-wei1,WANG Yue-lin1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS RF switch CPW |
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