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用SEM、AES、EDS对电子发射材料(钪酸盐阴极)及其所用的多孔钨体的分析与研究
引用本文:苏振华,阎肃秋,陈爱菊.用SEM、AES、EDS对电子发射材料(钪酸盐阴极)及其所用的多孔钨体的分析与研究[J].电子显微学报,1990(1).
作者姓名:苏振华  阎肃秋  陈爱菊
作者单位:机电部第五研究所 广州(苏振华),机电部十二所 北京(阎肃秋,陈爱菊)
摘    要:本文简要报导用Philips—SEM505、日本ANELAL公司AES—430S以及美EDAX—9100对钪酸盐阴极及多孔钨体的形貌结构、发射表面和体内的成分组成等进行实验研究的初步结果。实验表明:钨粉种类、成形方法、精加工方式等都是对多孔钨体和阴极表面性能有直接影响的因素。用俄歇谱仪对阴极发射面做纵向剖面分析可以看出,决定阴极性能的发射表面的“浅层”是发射活性物质最富集的区域。随着深度的增加,活性物质逐渐减少。深度超过约420A以后,各种成分便呈相对稳定的分布。因此,阴极性能的优劣主要取决于极薄一层发射表面的组成和性质。对该层的结构、性能等做充分的研究,对了解阴极的发射机理、改善并掌握稳定的阴极制备工艺都是十分重要的。

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