| 基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型 |
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| 引用本文： | 赵楷,熊斌,车录锋.基于Verilog-A的电容式MEMS加速度计模型[J].传感技术学报,2008,21(6):942-945. |
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| 作者姓名： | 赵楷 熊斌 车录锋 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 本文分析了传统MEMS电容式加速度计模型的不足,根据三明治结构电容式加速度计的特点,考虑了寄生电容和热机械噪声的影响,建立了用Verilog-A硬件描述语言实现的模型。该模型与主流集成电路设计环境相兼容,具有很强的可移植性。模拟验证结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,能够为设计单片集成的微弱电容检测电路提供有效的帮助。
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| 关 键 词： | MEMS加速度计 Verilog-A模型 寄生电容 热机械噪声 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)06-0942-04 |
| 修稿时间： | 2007年11月30 |
A Verilog-A Model for Capacitive MEMS Accelerometers |
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| Kai Zhao,Bin Xiong,Lufeng Che.A Verilog-A Model for Capacitive MEMS Accelerometers[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(6):942-945. |
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| Authors: | Kai Zhao Bin Xiong Lufeng Che |
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| Affiliation: | 1.Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai 200050
2. Graduate school of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039 |
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| Abstract: | A new simulation model for sandwich capacitive accelerometers is proposed.Stray capacitance and thermo-mechanical noise is taken into account of the model which is implemented in Verilog-A HDL.This model is portable and compatible with the modern IC design environments.Simulation results show that it provides an effective approach for the design of monolithic capacitive sensor interfaces. |
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| Keywords: | MEMS accelerometer Verilog-A model stray capacitance thermo-mechanical noise |
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