| 分步重复投影光刻机同轴对准数据处理 |
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| 引用本文： | 吕晓真,田宏. 分步重复投影光刻机同轴对准数据处理[J]. 微细加工技术, 2000, 0(1): 41-44 |
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| 作者姓名： | 吕晓真 田宏 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所,成都610209 |
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| 摘 要： | 介绍了０．８～１．０μｍ分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理，详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法，并给出实际测试结果。
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| 关 键 词： | 投影光刻机 同轴对准 数据处理 |
| 文章编号： | 1003-8213(200)01-0008-04 |
| 修稿时间： | 1999-04-15 |
Data Processing of Coaxial Alignment System For Wafer Stepper |
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| Lü Xiao-Zhen,TIAN Hong. Data Processing of Coaxial Alignment System For Wafer Stepper[J]. Microfabrication Technology, 2000, 0(1): 41-44 |
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| Authors: | Lü Xiao-Zhen TIAN Hong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | stepper Coaxial alignment Data processing |
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