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| 溶胶—凝胶法制备WO3—SiO2材料的氨敏特性研究 | |
| 引用本文： | 王旭升,张良莹.溶胶—凝胶法制备WO3—SiO2材料的氨敏特性研究[J].功能材料,1998,29(3):276-280. |
| 作者姓名： | 王旭升 张良莹 |
| 作者单位： | 西安交通大学电子材料研究室，日本九州大学研究生院材料科学与工程系 |
| 摘 要： | 采用溶胶－凝胶法制备了ＷＯ３＋ｘｗｔ％ＳｉＯ２（ｘ＝０，５，１０，２０）粉体材料。对其结构、形貌进行了ＸＲＤ、ＡＦＭ、ＸＰＳ和比表面积测量、分析，结果表明：获得了单斜晶系结构的ＷＯ３多晶材料；晶粒尺寸随ＳｉＯ２含量的增加而减小。测量了材料的ＮＨ３气敏特性，得到敏感元件的电阻和灵敏度随ＳｉＯ２含量的增加而增加；溶胶－凝胶法制备的ＷＯ３＋５ｗｔ％ＳｉＯ２粉料用于ＮＨ３测量具有优良的特性，在３５０℃及以上应用优于纯ＷＯ３材料。 |
| 关 键 词： | 半导体 气敏材料 溶胶－凝胶法 三氧化钨 二氧化硅 |
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