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| 高功率深紫外177.3 nm激光倍频产生 | |
| 作者姓名： | 周勇 王桂玲 陈亚辉 李成明 彭钦军 崔大复 许祖彦 王晓洋 朱镛 陈创天 刘国栋 董晓莉 周兴江 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院物理研究所,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039 2. 中国科学院物理研究所,北京,100080 3. 中国科学院理化技术研究所,北京,100080 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 全固态深紫外激光器在光刻和高分辨光谱仪等领域有重要应用价值,而非线性光学晶体KBBF及棱镜耦合技术的应用实现了直接倍频产生深紫外激光(λ<200 nm),为全固态深紫外激光器实用化开辟了新途径.2003年,我们与日本东京大学合作,用该方法产生深紫外177.3 nm激光的输出功率为3.5 m |
| 关 键 词： | 深紫外激光器 倍频产生 高功率 非线性光学晶体 棱镜耦合技术 日本东京大学 KBBF 输出功率 |
| 修稿时间： | 2007-08-10 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |