| 一种用于电容式MEMS麦克风的读出电路 |
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| 引用本文： | 周锋,李富华,乔东海,徐栋,吕爽,陈伟庆. 一种用于电容式MEMS麦克风的读出电路[J]. 微电子学, 2013, 43(3) |
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| 作者姓名： | 周锋 李富华 乔东海 徐栋 吕爽 陈伟庆 |
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| 作者单位： | 1. 苏州大学电子信息学院,江苏苏州,215006
2. 苏州大学电子信息学院,江苏苏州215006;中国科学院声学研究所,北京100190 |
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| 摘 要： | 在分析电容式MEMS麦克风工作原理的基础上,提出了一种用于电容式MEMS麦克风的读出电路.该读出电路包括低极点频率的高通滤波器和低噪声单位增益缓冲器,高通滤波器用来读出MEMS麦克风在声压作用下产生的小信号,单位增益缓冲器用来隔离高通滤波器和后续信号处理电路,并提供较大的驱动能力.仿真结果表明,当电源电压在1.2～3.6V之间时,读出电路都可以正常工作,且静态电流小于60 μA,等效输入噪声为5.2 μV,电压增益大于-1.56 dB(83.6％).由于消除了失调电压的影响,电路可以处理幅度范围为50 μV～200 mV的小信号(参考X-FAB 0.35 μm CMOS工艺).
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| 关 键 词： | 电容式MEMS麦克风 读出电路 高通滤波器 失调电压消除 |
A Readout Circuit for MEMS Capacitive Microphone |
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| ZHOU Feng,LI Fuhu,QIAO Donghai,XU Dong,L Shuang,CHEN Weiqing. A Readout Circuit for MEMS Capacitive Microphone[J]. Microelectronics, 2013, 43(3) |
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| Authors: | ZHOU Feng LI Fuhu QIAO Donghai XU Dong L Shuang CHEN Weiqing |
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| Affiliation: | ZHOU Feng , LI Fuhua , QIAO Donghai , XU Dong , L(U) Shuang , CHEN Weiqing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS capacitive microphone Readout circuit High pass filter Offset voltage cancellation |
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