等间距螺旋电极压电驱动器制备与静态性能测试 |
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引用本文: | 张树良,刘永刚,李海吉,王亚腾.等间距螺旋电极压电驱动器制备与静态性能测试[J].压电与声光,2023,45(2):313-319. |
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作者姓名: | 张树良 刘永刚 李海吉 王亚腾 |
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作者单位: | 河南科技大学 机电工程学院,河南 洛阳 471003;河南科技大学 机电工程学院,河南 洛阳 471003 ;河南科技大学 机械装备先进制造河南省协同创新中心,河南 洛阳 471003 |
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基金项目: | 河南省重点攻关基金资助项目(212102210065);河南省产学研合作基金资助项目(182107000012) |
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摘 要: | 基于阿基米德螺线方程提出一种等间距螺旋电极压电驱动器,该文分析了其电极结构与驱动原理,采用丝网印刷法对该驱动器螺旋电极进行了印制,并完成待测元件的制备。搭建了位移测试平台测试元件的静态性能,并对其静态的径向位移及平面扭转角进行了研究。试验结果表明,直径?25 mm、厚2 mm、电极宽0.6 mm、电极中心距1.2 mm的等间距螺旋电极压电驱动器在频率0.5 Hz、电压200 V的正弦激励信号作用下,径向峰值位移可达1.02μm,为传统电极压电元件的1.57倍,扭转角度可达0.12 mrad,与传统型压电驱动器相比,该元件具有较大的径向位移输出,且产生的扭转角度明显。
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关 键 词: | 等间距 螺旋电极 压电驱动器 制备 扭转角 |
收稿时间: | 2022/9/16 0:00:00 |
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