基于有限元法和色散COM模型的声表面波滤波器联合仿真 |
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作者姓名: | 郑泽渔 杜雪松 董加和 陈正林 马晋毅 |
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作者单位: | 中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆 400060;中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆 400060 ;模拟集成电路国家重点实验室, 重庆 400060 |
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摘 要: | 针对任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的精确快速设计问题,该文基于声/电/磁多物理场耦合全波仿真平台,结合基因遗传优化算法和通用图形处理器(GPGPU)加速技术,利用有限元分层级联精确模型(HCT)优化设计梯形谐振器,色散COM模型优化设计纵向耦合谐振器,实现了任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的正向设计与优化。通过42°Y-XLiTaO3常规SAW滤波器的优化设计与研制,设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。
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关 键 词: | 声表面波(SAW)滤波器 全波仿真 分层级联 遗传算法 |
收稿时间: | 2022-10-09 |
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