| 紫外和蓝光区域硅PIN光电二极管 |
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| 引用本文： | 宁宝俊,张太平,张录,田大宇. 紫外和蓝光区域硅PIN光电二极管[J]. 半导体学报, 2002, 23(2): 174-177. DOI: 10.3969/j.issn.1674-4926.2002.02.013 |
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| 作者姓名： | 宁宝俊 张太平 张录 田大宇 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子所,北京,100871 |
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| 摘 要： | 描述了采用离子注入、低温慢降温热处理和背面磷吸杂等方法在高阻(111)N型硅片上研制高性能PIN光电二极管的工艺技术,测量并分析了光电二极管的I-V、C-V和光灵敏度等性能.有源区面积为16mm×17mm的二极管样品在全耗尽偏置电压下(Vd=70V),环境温度为25℃时的暗电流和端电容典型值分别达到≤5nA和≤120pF.探测器在波长区域(380～500nm)的光谱响应典型值:400nm为0.26A/W,500nm为0.33A/W.量子效率在400～900nm光谱范围内达到70%～80%.对于紫外光至蓝光区域,该器件是一种理想的光探测元件.
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| 关 键 词： | PIN光电二极管 暗电流 光谱响应 |
| 文章编号： | 0253-4177(2002)02-0174-04 |
| 修稿时间： | 2001-07-01 |
Silicon PIN Photodiode for UV and Blue Spectral Regions |
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| Ning Baojun,Zhang Taiping,Zhang Lu and Tian Dayu. Silicon PIN Photodiode for UV and Blue Spectral Regions[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2002, 23(2): 174-177. DOI: 10.3969/j.issn.1674-4926.2002.02.013 |
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| Authors: | Ning Baojun Zhang Taiping Zhang Lu Tian Dayu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PIN photodiode dark current spectral response |
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