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| 微机械单元技术的动向 | |
| 引用本文： | 高晓萍,崔承甲.微机械单元技术的动向[J].光机电信息,1995(5):4-7. |
| 作者姓名： | 高晓萍 崔承甲 |
| 摘 要： | 本文从加工、组装、传感器、测量、执行元件等方面，叙述微机械单元技术的动向。 |
| 关 键 词： | 微机械单元技术 加工 组装 传感器 测量 执行元件 |
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