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| MOCVD设备集散控制系统设计 | |
| 引用本文： | 过润秋,谢素芬.MOCVD设备集散控制系统设计[J].电工技术,2003(1):33-34. |
| 作者姓名： | 过润秋 谢素芬 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学,电子机械学院,西安,710071 |
| 摘 要： | 介绍了集散控制MOCVD系统的研究和应用，该设备是生长半导体材料G aN的关键设备。文中重点探讨了用PLC实现该设备的控制系统，并给出了硬件设计和工控软件的应用。 |
| 关 键 词： | MOCVD设备 集散控制系统 设计 组态软件 化学气相沉积 GaN材料 半导体材料 |
| 修稿时间： | 2002年9月30日 |
Distributed control system design of MOCVD equipment |
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| Abstract: | |
| Keywords: | MOCVD |
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