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杂志ISSN号
基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究
作者姓名:
郑升灵
李丽
要志宏
李宏军
李丰
作者单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部;
摘 要:
介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的"三明治"空气腔悬梁结构。该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20MHz,品质因数为800,机电耦合系数约0.5%。
关 键 词:
氮化铝(AlN)
轮廓模式
体声波
矩形盘谐振器
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