| 定容式流导法微流量校准装置 |
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| 引用本文： | 张涤新,郭美如,冯焱,赵澜,李得天,赵定众,李正海,成永军,李莉,龚月莉,孙海. 定容式流导法微流量校准装置[J]. 真空科学与技术学报, 2005, 25(1): 21-25 |
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| 作者姓名： | 张涤新 郭美如 冯焱 赵澜 李得天 赵定众 李正海 成永军 李莉 龚月莉 孙海 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准,校准范围为(5×10-2～5×10-11)Pa·m3/s,合成标准不确定度为0.56%～1.7%.
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| 关 键 词： | 流量计 流量校准 真空漏孔 |
| 文章编号： | 1672-7126(2005)01-0021-05 |
| 修稿时间： | 2003-07-22 |
Low Throughput Calibration by Constant Volume and Conductance Technique |
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| Zhang Dixin,Guo Meiru,Feng Yan,Zhao Lan,Li Detian,Zhao Dingzhong,Li Zhenghai,Cheng Yongjun,Li Li,Gong Yueli,SUN Hai. Low Throughput Calibration by Constant Volume and Conductance Technique[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2005, 25(1): 21-25 |
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| Authors: | Zhang Dixin Guo Meiru Feng Yan Zhao Lan Li Detian Zhao Dingzhong Li Zhenghai Cheng Yongjun Li Li Gong Yueli SUN Hai |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Gas flowmeter Throughput calibration Vacuum leaker |
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