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| 电泳法玻璃钝化在大功率晶体管上的应用 | |
| 作者姓名： | 贾维国 |
| 作者单位： | 内蒙古半导体器件厂 |
| 摘 要： | 玻璃钝化由于具有高可靠性和稳定性,被广泛用于高反压大功率三极管的台面钝化.目前,形成钝化膜的方法主要有电泳法、阴极溅射法、离子沉淀法、汽相淀积法和“博士”,刀片法等几种方法.电泳法虽然工艺比较复杂,但由于它选择性强,膜厚容易控制,一致性好,光刻兼容容易等特点而被广泛使用. |
| 关 键 词： | 功率晶体管 玻璃钝化 电泳法 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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