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| 基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件制作方法 | |
| 作者单位： | ;1.中煤科工集团重庆研究院有限公司 |
| 摘 要： | 在分析载体催化甲烷检测原理的基础上,提出采用先进的微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)技术对传统载体催化甲烷检测元件的制作方法进行改进,给出了具体的元件制作流程,并对元件的性能进行了测试。测试结果表明,基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件较传统载体催化甲烷检测元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明显改善。 |
| 关 键 词： | 甲烷检测 载体催化检测 微机电系统 MEMS |
Product process of carrier catalytic methane detection component based on MEMS technology |
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