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| 微纳甲烷传感技术的研究 | |
| 作者单位： | ;1.中国矿业大学物联网(感知矿山)研究中心;2.中国矿业大学感知矿山国家地方联合工程实验室 |
| 摘 要： | 针对矿山物联网发展对甲烷传感器低功耗、微型化、低成本的设计要求,对一种基于微纳米技术的载体催化燃烧式甲烷传感器展开研究,着重介绍了该种甲烷传感器的微加热器及低维甲烷传感方面的研究现状及相应成果,并介绍了一种新型金属-绝缘体-金属结构的金属氧化物半导体甲烷传感器。该种甲烷传感器具有功耗低、体积小等特点,符合矿山物联网的发展需求。 |
| 关 键 词： | 甲烷传感器 微纳米技术 微加热器 |
Research of mico/nano methane sensing technology |
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