| 沉积气压对氮化钒(VN)涂层微结构及其性能的影响* |
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| 引用本文： | 刘怡飞,包改磊,李助军,李 磊,罗锡才,田灿鑫.沉积气压对氮化钒(VN)涂层微结构及其性能的影响*[J].润滑与密封,2021,46(5):68-74. |
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| 作者姓名： | 刘怡飞 包改磊 李助军 李 磊 罗锡才 田灿鑫 |
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| 作者单位： | 广州铁路职业技术学院机电工程学院;华南理工大学国家金属材料近净成形工程;岭南师范学院物理科学与技术学院 |
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| 基金项目： | 2020年“攀登计划”广东大学生科技创新培育项目（pdjh2020b1142）；广州铁路职业技术学院校级项目；广州铁路职业技术学院大学生创新创业项目. |
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| 摘 要： | 为研究沉积气压对VN涂层力学性能和摩擦性能的影响,采用离子镀制备VN涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜等设备检测VN涂层的物相结构、表面形貌,采用划痕仪测试基体与涂层的膜基结合力,采用摩擦磨损试验机测试涂层的摩擦因数。结果表明:随着沉积氮气气压的升高,VN衍射峰强度逐渐增强,具有(200)晶面择优取向,表面平整度高;随着沉积氮气气压变化,涂层显微硬度和膜基结合力呈抛物线变化趋势,在氮气气压为1.0 Pa时,涂层硬度最高为HV2284,结合力最大为45 N,并具有稳定的摩擦因数,平均摩擦因数为0.85。通过调控沉积气压,多弧离子镀技术可以制备出性能更优越的VN涂层。
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| 关 键 词： | 多弧离子镀 VN涂层 沉积气压 结合强度 摩擦因数 |
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