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| 微机电系统CAD的研究分析 | |
| 引用本文： | 李小兵,刘莹.微机电系统CAD的研究分析[J].机械制造,2003,41(9):7-10. |
| 作者姓名： | 李小兵 刘莹 |
| 作者单位： | 南昌大学机电工程学院,330029 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(编号:50275071) |
| 摘 要： | 概述了微机电系统CAD的研究进展，重点介绍了国外在该领域的研究工作。针对其与传统机电系统的不同。总结了微机电系统CAD的技术特点，并据此提出了微机电系统的设计原则，还介绍了微机电系统CAD的系统模型、常用的软件设计方法以及目前存在的几个问题。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 CAD 系统模型 软件设计 MEMS |
| 文章编号： | 1000-4998(2003)09-0007-04 |
Analysis of Researches on the CAD for MEMS |
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| Abstract: | |
| Keywords: | CAD |
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