| 用快速傅立叶变换法标定相移干涉仪中的相移器 |
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| 引用本文： | 田爱玲,刘中本.用快速傅立叶变换法标定相移干涉仪中的相移器[J].西安工业学院学报,1998,18(4):289-291. |
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| 作者姓名： | 田爱玲 刘中本 |
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| 作者单位： | 西安工业学院仪器工程系 |
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| 基金项目： | 国防科工委跨行业重点项目 |
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| 摘 要： | 相移干涉测量是一种光学精密检测方法．相移器作为其中关键部件，它的性能直接影响计量精度．文中介绍了一种用于相移器标定的方法．该方法采用对连续采集的相移干涉图光强分布函数进行快速傅立叶变换，得到相邻两次位移差，即相移大小，以此来决定压电陶瓷的移动量．此方法标定精度（０．００５μｍ）满足了相移干涉测量的要求，操作简单、计算速度快，且易于实现实时标定处理．
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| 关 键 词： | 移相干涉技术 快速傅立叶变换 相移器 |
Calibration PZT in phase shifting interferometry using Fourier transform method |
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| Tian Ailing,Liu Zhongben,Yun Zhisheng.Calibration PZT in phase shifting interferometry using Fourier transform method[J].Journal of Xi'an Institute of Technology,1998,18(4):289-291. |
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| Authors: | Tian Ailing Liu Zhongben Yun Zhisheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | phase shifting interferometry fast Fourier transform phase shifter |
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