| 稀土Ce共溅射沉积(AlCrNbTiVCe)N涂层的高温摩擦学性能 |
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| 引用本文： | 畅为航,雷贤卿,蔡海潮,薛玉君,李航.稀土Ce共溅射沉积(AlCrNbTiVCe)N涂层的高温摩擦学性能[J].稀有金属材料与工程,2023,52(2):527-534. |
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| 作者姓名： | 畅为航 雷贤卿 蔡海潮 薛玉君 李航 |
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| 作者单位： | 河南科技大学机电工程学院,河南科技大学机电工程学院,河南科技大学机电工程学院,河南科技大学机电工程学院,河南科技大学机电工程学院 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(2021YFB3400400)；河南省科技攻关项目(202102210073) |
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| 摘 要： | 研究了稀土Ce与AlCrNbTiV高熵合金磁控共溅射(AlCrNbTiVCe)N涂层500℃下的摩擦学性能。采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)表征涂层的表面形貌、成分、物相和价态。通过纳米压痕仪、球盘式摩擦磨损试验机和白光干涉三维形貌仪测试涂层的力学性能和摩擦学性能。结果表明采用磁控溅射技术可以制备出性能良好的(AlCrNbTiVCe)N涂层,Ce的引入改善了涂层微观组织和结构,增强了涂层的硬度,提高了涂层的抗塑性变形能力和抗弹性变形能力,进而使涂层具有良好的摩擦磨损性能。在室温下(AlCrNbTiVCe)N涂层的摩擦因数和磨损率与未含Ce的(AlCrNbTiV)N涂层相比均显著降低,其磨损机制为轻微的磨粒磨损和粘着磨损;在500℃下(AlCrNbTiVCe)N涂层具有比室温下更低的摩擦因数,其磨损机制以氧化磨损为主,这是由于涂层表面存在CeO2,起到了改善涂层摩擦性能的作用。在磁控溅射工艺中引入Ce元素,可以获得摩擦学性能优良的(AlCrNbTiVCe)N涂层。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 稀土元素 高熵合金涂层 高温 摩擦学性能 |
| 收稿时间： | 2022/6/13 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2022/8/1 0:00:00 |
High-temperature Tribological Properties of (AlCrNbTiVCe)N Coating Deposited by Co-sputtering Rare Earth Ce |
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| CHANG WeiHang,CAI Haichao,XUE Yujun,XUE Yujun and LI Hang.High-temperature Tribological Properties of (AlCrNbTiVCe)N Coating Deposited by Co-sputtering Rare Earth Ce[J].Rare Metal Materials and Engineering,2023,52(2):527-534. |
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| Authors: | CHANG WeiHang CAI Haichao XUE Yujun XUE Yujun and LI Hang |
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| Affiliation: | School of Mechatronics Engineering,School of Mechatronics Engineering,School of Mechatronics Engineering,School of Mechatronics Engineering,School of Mechatronics Engineering |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering rare earth element high entropy alloy coating high temperature tribological properties |
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