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| 中子辐照区熔(氢)硅单晶中的氢沉淀 | |
| 作者姓名： | 陈燕生 康莹 马纪东 刘桂荣 李石岭 高集金 |
| 作者单位： | 北京钢铁学院(陈燕生，康莹，马纪东，刘桂荣)，北京原子能研究院(李石岭)，北京原子能研究院(高集金) |
| 摘 要： | 无位错区熔(氢)硅单晶通过轻水堆中子辐照,然后热处理,再经化学腐蚀,将观察不到氢致φ型缺陷,全部代之以氢沉淀。金相和扫描电镜观察氢沉淀呈丘状小凸起。图像分析表明,氢沉淀尺度均小于10μm,面密度达10~4～10~5cm~(-2)。利用FZ硅中的氢沉淀制备了硅片表面完整层。 |
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