| 用于薄膜热容测量的微型量热计 |
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| 引用本文： | 余隽,唐祯安,张凤田,陈正豪,王立鼎. 用于薄膜热容测量的微型量热计[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 168-170 |
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| 作者姓名： | 余隽 唐祯安 张凤田 陈正豪 王立鼎 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学,大连,116023
2. 香港科技大学,香港 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(59995550-5,90207003);国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404180) |
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| 摘 要： | 设计并加工了一种新型的微量热计,该微量热计的制备采用半导体加工工艺和表面微机械加工技术.与体硅加工的微量热计相比,具有成品率高和器件尺寸控制准确的优点.在真空环境中,该微量热计在5.5mW的加热功率下,中心温度从300K升至400K只需约0.5ms,升温速率达2×105K/s.针对微量热计热质小、升温快等特点,引入了脉冲扫描量热法来测量薄膜的热容.测量了厚度为(430±20)nm的Al薄膜从300K到420K的热容曲线,该薄膜的热容在室温附近为9.2nJ/K.若薄膜的密度值取2700kg/m3,则该Al薄膜的比热容在室温下约为1096.8J/(kg·K),比Al体材料的比热容值900J/(kg·K)增加了约21.9%,表现出金属纳米晶体的热容增强效应.
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| 关 键 词： | 微量热计 MEMS器件 薄膜 热容 脉冲量热法 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0168-03 |
| 修稿时间： | 2005-04-07 |
Measurement of Heat Capacity of Al Thin Film Using a Micro Bridge Calorimeter |
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