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| 双极/MOS功率复合器件的进展 | |
| 作者姓名： | 朱明程 李宏扬 |
| 摘 要： | 在功率半导体器件中,比较成熟,应用较广泛的主要是功率仅极晶体管、晶闸管和功率MOSFET.无论在电力控制、还是功率放大应用中,各自均具有其特色和局限性.随着VLSI工艺的发展,微细加工技术的成熟,特别是近年来在技术发展的基础上,人们设计思想的解”放,产生了双极/MOS复合为一体,取其所长,补其之短,在结构上集成,在工艺上兼容的新型复合器件.这些复合器件,较之分立的功率MOSFET功率双极器件,在性能上大有突破;促进了功率半导体器件向更广的应用领域渗透.本文在粗略分析功率MOSFET,功率双极晶体管、晶闸管现状的基础上,讨论和介绍了几种新型的双极/MOS功率复合器件,并估计了这方面的发展. |
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