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PtSi红外焦平面列阵研究的新进展
作者姓名:杨亚生
作者单位:重庆光电技术研究所
摘    要:评述了PtSi消特基势势垒红外焦平面列阵的的研究进展。近年来,国外采用一些新的器件结构,制成了高性能的大型凝视PtSi红外焦平面列阵。

关 键 词:焦平面列阵 硅化铂 红外光学器件
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