| 集成光学头用的波导光栅耦合器的制作与性能研究 |
| |
| 引用本文： | 邹志强,杨立新,方红丽,胡少坚,陈国明,沈德芳. 集成光学头用的波导光栅耦合器的制作与性能研究[J]. 功能材料与器件学报, 1999, 0(1) |
| |
| 作者姓名： | 邹志强 杨立新 方红丽 胡少坚 陈国明 沈德芳 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所!上海，200050，中国科学院上海冶金研究所!上海，200050，中国科学院上海冶金研究所!上海，200050，中国科学院上海冶金研究所!上海，200050，中国科学院上海冶金研究所!上海，200050，中国科学院上海冶金研究所!上海，200050 |
| |
| 基金项目： | 上海市科学技术发展基金 |
| |
| 摘 要： | 对集成光学头用的波导光栅器件的制作技术进行了研究。采用热氧化和离子束增强沉积方法分别在Si衬底上制备了SiO2层和玻璃波导层，制成了以Si为基底的光波导．采用PCVD法在该光波导上制备Si-N层，用全息干涉光刻法在Si-N层上制作了周期为1μm的等周期直线光栅，并用离子束刻蚀技术将该光栅转移到了Si-N层中。光栅的倾角约20～30°；一级衍射效率可达120％，具有明显的闪耀光栅特征。该光栅可用作导波光输入输出耦合器。
|
| 关 键 词： | 集成光学头 光波导 光栅耦合器 |
FABRICATION OF WAVEGUIDE GRATING COUPLER FOR A INTEGRATED-OPTIC DISK HEAD |
| |
| ZOU Zhiqiang, YANG Lixin, FANG Hongli, HU Shaojian, CHEN Gnoming, SHEN Defang. FABRICATION OF WAVEGUIDE GRATING COUPLER FOR A INTEGRATED-OPTIC DISK HEAD[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 1999, 0(1) |
| |
| Authors: | ZOU Zhiqiang YANG Lixin FANG Hongli HU Shaojian CHEN Gnoming SHEN Defang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Integrated-optic disk head Waveguide Grating coupler |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
