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远红外技术在集成电路生产工艺中的应用

作者姓名：	吕炳全

摘要：	本文主要介绍远红外加热技术在半导体集成电路生产工艺中的应用。从实验结果来看,远红外技术对集成电路的工艺筛选、高温老
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