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| TMAH腐蚀液的研究 | |
| 引用本文： | 沈桂芬,姚朋军,张宏,刘玲,张宏庆,范军. TMAH腐蚀液的研究[J]. 微电子学与计算机, 2003, 20(10): 45-47 |
| 作者姓名： | 沈桂芬 姚朋军 张宏 刘玲 张宏庆 范军 |
| 作者单位： | 辽宁大学物理系,沈阳,110036 |
| 摘 要： | IMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.文章通过大量对比实验,对该腐蚀液用于＜100＞、＜111＞单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率,得出重要结论.此研究对正确使用rMAH腐蚀液有重要指导意义. |
| 关 键 词： | TMAH 腐蚀液 粗糙度 腐蚀速率 各向异性 |
| 修稿时间： | 2003-04-14 |
The Stuty of TMAH Etchnt Solution |
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| Abstract: | |
| Keywords: | TMAH |
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