微电机工艺技术述评

新的工艺和装备在技术上是先进的,但并不是在任何情况下都是优越的。真正的先进应包括两个方面,即技术上先进,经济上合理。就是说先进的工艺装备能获得合理的经济效益才是先进的。本文根据所走访的30多个生产厂的情况,阐述针对不同产品、不同产量、不同装备条件、适合各厂生产条件的先进技术,也是在生产现场真正发挥效益的生产技术,是适合国情厂情且有一定推广价值的先进技术。