微电机工艺技术述评 |
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引用本文: | 杨永良,王广明.微电机工艺技术述评[J].微电机,1993,26(2):33-40. |
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作者姓名: | 杨永良 王广明 |
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作者单位: | 西安微电机研究所,西安微电机研究所,西安微电机研究所 |
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摘 要: | 新的工艺和装备在技术上是先进的,但并不是在任何情况下都是优越的。真正的先进应包括两个方面,即技术上先进,经济上合理。就是说先进的工艺装备能获得合理的经济效益才是先进的。本文根据所走访的30多个生产厂的情况,阐述针对不同产品、不同产量、不同装备条件、适合各厂生产条件的先进技术,也是在生产现场真正发挥效益的生产技术,是适合国情厂情且有一定推广价值的先进技术。
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关 键 词: | 微电机 制造 工艺技术 |
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