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MEMS陀螺主要性能指标研究
作者姓名:程秀芹  翁志能  张建飞  吴红霞  张勇华
作者单位:北方自动控制技术研究所,太原,030006
摘    要:以ADI公司的微角速度单轴陀螺仪ADXRSXXX为例,对MEMS陀螺的主要性能指标进行了研究,并进行了标定实验,计算了主要性能指标。通过数据拟合方法得到了该陀螺的校准曲线,经过分析计算,该陀螺的精度较高,在姿态测试系统中有一定的应用前景。

关 键 词:微机电系统  陀螺仪  惯性传感器  标定  校准曲线
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