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| 半导体用有机金属化合物 | |
| 引用本文： | 徐燕,徐京生.半导体用有机金属化合物[J].化工新型材料,1983(2). |
| 作者姓名： | 徐燕 徐京生 |
| 摘 要： | 日本东洋斯特法化学公司与专门制造有机金属化合物的得克萨斯烷基(Texas Al-kyls)公司进行技术合作,以 MO-CVD 法(金属有机化合物—化学气相沉积法—译者注)生产超高纯半导体有机金属化合物。该公司自1980年从得克萨斯烷基公司引 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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