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聚合物电光调制器行波电极系统
引用本文:鹿飞,梁琨,宋琼,彭海波,吴伯瑜. 聚合物电光调制器行波电极系统[J]. 光电子.激光, 2005, 16(3): 267-270
作者姓名:鹿飞  梁琨  宋琼  彭海波  吴伯瑜
作者单位:清华大学电子工程系,北京,100084;清华大学电子工程系,北京,100084;清华大学电子工程系,北京,100084;清华大学电子工程系,北京,100084;清华大学电子工程系,北京,100084
基金项目:国家科技部“863”计划资助项目(2002AA313130),清华大学基础研究基金资助项目(JZ200005)
摘    要:设计了20 GHz聚合物光波导电光调制器CPW电极系统。制作和测试了分别用 Si、石英、玻璃做衬底的CPW电极系统。结果表明,石英衬底CPW电极质量最好,在中心电极宽度 W=20μm、电极间距G=50μm和电极厚3μm条件下,其实测损耗系数α0=0.32 dB·cm-1·GHz-0.5,实测微波等效折射率Nm=1.689,与理论值符合。在偏离此α0 和 Nm±10%的情况下,对于互作用区电极长度为 L=23.7 mm的调制器,估算带宽仍大于37 GHz。讨论了Si衬底CPW电极传输损耗很大的原因。

关 键 词:行波电极  CPW  聚合物调制器
文章编号:1005-0086(2005)03-0267-04

Traveling-wave Electrode for Polymer Electro-optic Modulator
LU Fei,LIANG Kun,SONG Qiong,PENG Hai-bo,WU Bo-yu. Traveling-wave Electrode for Polymer Electro-optic Modulator[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2005, 16(3): 267-270
Authors:LU Fei  LIANG Kun  SONG Qiong  PENG Hai-bo  WU Bo-yu
Abstract:
Keywords:traveling-wave electrode  coplanar waveguide(CPW)  polymer modulator
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