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| 玻璃与玻璃陶瓷蚀刻成型元件 | |
| 引用本文： | 大舟.玻璃与玻璃陶瓷蚀刻成型元件[J].光机电信息,1994(4). |
| 作者姓名： | 大舟 |
| 摘 要： | 在微型化技术的发展中,已在电子学领域获得成功,不断地制造出效率高而价格便宜的元件。由于微机械、微光学以及微生物学的出现,产生了许多虽然不具有电子学功能,但和电子工业中的芯片有同样作用的微型部件,如传感器、致动器。微型驱动机构、阀门,喷咀(图1)微型手术仪器以及测量物理、化学和生物过程的传感器元件,它们只是这些 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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