| 垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析 |
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| 引用本文： | 刘超,张雅丽,徐桂芝,张韬,侯广辉,祝宁华.垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差分析[J].半导体学报,2006,27(8). |
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| 作者姓名： | 刘超 张雅丽 徐桂芝 张韬 侯广辉 祝宁华 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 |
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| 摘 要： | 采用FRESNEL光学软件和MATLAB编程,详细分析了垂直腔面发射激光器的TO封装工艺操作误差对耦合效率的影响.发现在芯片横向偏移、芯片倾斜和管帽倾斜这三种操作误差中,管帽倾斜对封装组件的耦合效率影响最大.
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| 关 键 词： | 耦合效率 垂直腔面发射激光器 封装 |
Analysis of Operation Errors of TO-Packaged VCSELs |
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| Liu Chao,Zhang Yali,Xu Guizhi,Zhang Tao,Hou Guanghui,Zhu Ninghua.Analysis of Operation Errors of TO-Packaged VCSELs[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(8). |
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| Authors: | Liu Chao Zhang Yali Xu Guizhi Zhang Tao Hou Guanghui Zhu Ninghua |
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