| 利用光子晶体提高InP基LED出光效率 |
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| 引用本文： | 杜伟,许兴胜,孙增辉,鲁琳,高俊华,赵致民,王春霞,陈弘达.利用光子晶体提高InP基LED出光效率[J].半导体学报,2006,27(5). |
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| 作者姓名： | 杜伟 许兴胜 孙增辉 鲁琳 高俊华 赵致民 王春霞 陈弘达 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 应用FDTD方法计算了二维无限大光子晶体的能带结构,并制备出了InP基二维平板结构的光子晶体器件.在制备过程中尝试了仅用PMMA做掩模以及PMMA和SiO2做掩模两种方法.结果表明,不使用SiO2做掩模的情况下,由于PMMA胶选择性较差,在刻蚀过程中难以保证图形的准确转移.而增加SiO2掩模后,获得了图形质量良好的光子晶体结构.成功实现了利用光子晶体结构增强LED的出光效率,与未制作光子晶体结构的LED相比,光子晶体结构LED的出光效率可在原来基础上提高1倍以上.并且随着晶格常数的增加,出光效率进一步提高.
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| 关 键 词： | 光子晶体 电子束曝光 反应离子束刻蚀 LED出光效率 |
Enhancement of Light Extraction of LED by Photonic Crystal Structures |
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| Du Wei,Xu Xingsheng,Sun Zenghui,Lu Lin,Gao Junhua,Zhao Zhimin,Wang Chunxia,Chen Hongda.Enhancement of Light Extraction of LED by Photonic Crystal Structures[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(5). |
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| Authors: | Du Wei Xu Xingsheng Sun Zenghui Lu Lin Gao Junhua Zhao Zhimin Wang Chunxia Chen Hongda |
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