| 生长温度对ZnO薄膜性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 苏宏波,戴江南,蒲勇,王立,李璠,方文卿,江风益.生长温度对ZnO薄膜性能的影响[J].半导体学报,2006,27(7). |
| |
| 作者姓名： | 苏宏波 戴江南 蒲勇 王立 李璠 方文卿 江风益 |
| |
| 作者单位： | 南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心,南昌,330047 |
| |
| 基金项目： | 高比容电子铝箔的研究开发与应用项目，信息产业部电子信息产业发展基金 |
| |
| 摘 要： | 采用常压金属有机化学气相沉积技术在Al2O3(0001)衬底上生长出高质量的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射ω和θ-2θ扫描、室温光致发光研究了不同生长温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的影响.结果表明,随着生长温度的升高,ZnO薄膜的c轴晶格常数逐渐增大,a轴晶格常数逐渐变小,同时带隙相应逐渐增大.
|
| 关 键 词： | ZnO MOCVD X射线双晶衍射 光致发光 应变 |
Effect of Growth Temperature on Properties of ZnO Thin Films |
| |
| Su Hongbo,Dai Jiangnan,Pu Yong,Wang Li,Li Fan,Fang Wenqing,Jiang Fengyi.Effect of Growth Temperature on Properties of ZnO Thin Films[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(7). |
| |
| Authors: | Su Hongbo Dai Jiangnan Pu Yong Wang Li Li Fan Fang Wenqing Jiang Fengyi |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
|
