| 硅基波导共振增强型光电探测器的设计与模拟 |
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| 引用本文： | 陈荔群,李成.硅基波导共振增强型光电探测器的设计与模拟[J].半导体学报,2006,27(8). |
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| 作者姓名： | 陈荔群 李成 |
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| 作者单位： | 厦门大学物理系,半导体光子学研究中心,厦门,361005 |
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| 基金项目： | 福建省青年科技人才创新基金，教育部留学回国人员科研启动基金，国家重点实验室基金，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | SiGe是间接带隙材料,吸收系数非常小,因而SiGe探测器在红外波段的量子效率很低.本文提出一种新型的探测器结构,即波导共振增强型光电探测器,该器件主要由两个介质布拉格反射镜和波导吸收区构成,器件尺寸较传统波导型探测器大为减小,吸收区的长度不受SiGe临界厚度的限制,实现了量子效率和响应速度的优化.本文在数值模拟的基础上,对器件结构进行了优化设计,结果表明7.6μm长的波导探测器可以得到20%以上的量子效率.
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| 关 键 词： | Si/SiGe 波导共振增强型 探测器 |
Design and Simulation of Si-Based Resonant-Cavity-Enhanced Waveguide Photodetectors |
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| Chen Liqun,Li Cheng.Design and Simulation of Si-Based Resonant-Cavity-Enhanced Waveguide Photodetectors[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(8). |
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| Authors: | Chen Liqun Li Cheng |
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