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| 平面型RTD及其MOBILE的设计与研制 | |
| 引用本文： | 郭维廉,梁惠来,张世林,胡留长,毛陆虹,宋瑞良,牛萍娟,王伟,商跃辉,王国全,冯震.平面型RTD及其MOBILE的设计与研制[J].半导体学报,2006,27(12). |
| 作者姓名： | 郭维廉 梁惠来 张世林 胡留长 毛陆虹 宋瑞良 牛萍娟 王伟 商跃辉 王国全 冯震 |
| 作者单位： | 1. 天津大学电子信息工程学院,天津,300072;天津工业大学信息与通讯工程学院,天津,300160;中国电子科技集团十三所,石家庄,050051 2. 天津大学电子信息工程学院,天津,300072 3. 天津工业大学信息与通讯工程学院,天津,300160 4. 中国电子科技集团十三所,石家庄,050051 |
| 基金项目： | 超高速专用集成电路重点实验室基金 |
| 摘 要： | 鉴于已报道的平面共振遂穿二极管(PRTD)存在的缺点,文中提出了一种新的平面RTD器件结构.以n+ GaAs代替半绝缘GaAs衬底,利用硼离子注入产生的非晶化作为RTD器件的电隔离,成功设计研制平面型RTD和由其构成的单-双稳转换逻辑单元,此种结构可适用于以输出端作为公用端的所有电路. |
| 关 键 词： | RTD 平面型RTD 离子注入 MOBILE |
Design and Fabrication of a Planar RTD and Its MOBILE |
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| Guo Weilian,Liang Huilai,Zhang Shilin,Hu Liuchang,Mao Luhong,Song Ruiliang,Niu Pingjuan,Wang Wei,Shang Yuehui,Wang Guoquan,Feng Zhen.Design and Fabrication of a Planar RTD and Its MOBILE[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(12). | |
| Authors: | Guo Weilian Liang Huilai Zhang Shilin Hu Liuchang Mao Luhong Song Ruiliang Niu Pingjuan Wang Wei Shang Yuehui Wang Guoquan Feng Zhen |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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