| 亚波长设计中的可制造性验证方法 |
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| 引用本文： | 王国雄,严晓浪.亚波长设计中的可制造性验证方法[J].半导体学报,2006,27(5). |
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| 作者姓名： | 王国雄 严晓浪 |
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| 作者单位： | 浙江大学超大规模集成电路设计研究所,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 描述了一种采用分辨率提高技术后用于可制造性设计的验证方法.该方法的目的是验证设计功能与设计目的是否一致,更精确地说,使刻印出来的图像与设计一致.还描述了这种基于模型的验证方法的过程建模,实例说明这种方法的性能.
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| 关 键 词： | 可制造性验证 分辨率提高技术 光学邻近校正 |
Method of Verification for Manufacturing in Sub-Wavelength Design |
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| Wang Guoxiong,Yan Xiaolang.Method of Verification for Manufacturing in Sub-Wavelength Design[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(5). |
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| Authors: | Wang Guoxiong Yan Xiaolang |
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| Abstract: | We describe a post resolution-enhancement-technique verification method for use in manufacturing data flow.The goal of the method is to verify whether designs function as intended,or more precisely,whether the printed images are consistent with the design intent.The process modeling is described for the model-based verification method.The performance of the method is demonstrated by experiment. |
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| Keywords: | verification for manufacturing resolution enhancement technique optical proximity correction |
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