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硅单晶的热处理问题
引用本文:
孙以材.硅单晶的热处理问题[J].稀有金属,1980(3).
作者姓名:
孙以材
作者单位:
河北工学院
摘 要:
一、引言硅单晶的热处理工艺在我国已开始受到重视,并开展了这方面的研究工作。在国外,热处理工艺已经是许多半导体硅生产厂家的必要工艺环节。热处理的好处在于: (a) 稳定电阻率,改善截面均匀性,消除杂质条纹; (b) 消除晶体内应力和机械损伤; (c) 稳定位错,减小它的有害影响; (d) 消除微缺陷,杂质微沉淀。
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