| 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征 |
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| 引用本文： | 季振国,宋永梁,杨成兴,刘坤,王超,叶志镇. 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征[J]. 半导体学报, 2004, 25(1): 52-55 |
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| 作者姓名： | 季振国 宋永梁 杨成兴 刘坤 王超 叶志镇 |
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| 作者单位： | 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上使用旋转涂覆技术生长了Zn O薄膜.对薄膜的XRD分析表明Zn O薄膜为纤锌矿结构并沿c轴取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.2 8e V ,与Zn O体材料的禁带宽度3.30 e V基本相同.用光致发光谱分析了经过5 0 0～70 0℃热处理获得的Zn O薄膜,结果表明Zn O薄膜在室温下有较强的紫外带边发射,但当热处理温度高于70 0℃时,可见光波段发射明显增加
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 光致发光 溶胶-凝胶法 旋涂 |
| 文章编号： | 0253-4177(2004)01-0052-04 |
| 修稿时间： | 2003-02-02 |
Characterization of ZnO Thin Film Preparation by Sol-Gel Spinning-Coating |
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| Ji Zhenguo,Song Yongliang,Yang Chengxing,Liu Kun,Wang Chao and Ye Zhizhen. Characterization of ZnO Thin Film Preparation by Sol-Gel Spinning-Coating[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2004, 25(1): 52-55 |
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| Authors: | Ji Zhenguo Song Yongliang Yang Chengxing Liu Kun Wang Chao Ye Zhizhen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin film photoluminescence sol-gel spin coating |
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