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| 铝硅合金表面纳米颗粒的原子力显微镜观察 | |
| 引用本文： | 吴敬文,范捷.铝硅合金表面纳米颗粒的原子力显微镜观察[J].微电子学,1996,26(1):40-42. |
| 作者姓名： | 吴敬文 范捷 |
| 作者单位： | 东南大学分子与生物分子电子学实验室，江苏无锡华晶电子集团支援中心 |
| 摘 要： | 利用原子力显微镜首次观察到２００℃磁控溅射铝硅合金表面存在纳米颗粒，经测量，此纳米颗粒直径约２０ｎｍ、高１ｎｍ。根据此纳米颗粒的分布，讨论了磁控溅射薄的生长机理，同时，还讨论了此纳米颗粒对半导体工艺的影响。 |
| 关 键 词： | 半导体材料 纳米颗粒 原子力显微镜 铝硅合金 |
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