发展电子工业用的光学仪器

<正> 随着电子工业,特别是半导体集成电路的发展,不断地、越来越广泛地要求光学工业为它服务,而且对仪器的精度以及各项技术性能指标的要求也日益提高。这些仪器包括图形初缩、精缩制版,图形发生器,接触式、接近式和投影式光刻机以及测试掩模版或集成电路的各种光学仪器。上述仪器已形成光学仪器中的一个新分支。