| X射线光学多层膜的研究 |
| |
| 引用本文： | 薛钰芝,林纪宁,J·Verhoeven.X射线光学多层膜的研究[J].真空科学与技术学报,1994(2). |
| |
| 作者姓名： | 薛钰芝 林纪宁 J·Verhoeven |
| |
| 作者单位： | 大连铁道学院!大连，116022，大连铁道学院!大连，116022，荷兰FOM原子、分子物理研究所 |
| |
| 摘 要： | 介绍X射线光学多层膜的构成原理、制作、测量方法及在超高真空系统中的研制技术。
|
| 关 键 词： | 多层膜 软X射线光学 |
THE RESEARCH OF SOFT X-RAY OPTICS MULTILAYERS |
| |
| Xue Yuzhi,Lin Jining.THE RESEARCH OF SOFT X-RAY OPTICS MULTILAYERS[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1994(2). |
| |
| Authors: | Xue Yuzhi Lin Jining |
| |
| Abstract: | The paper introduced the principle of structure of soft X-ray optics multilayers, and released the technique of measurement and fabrication of the multilayers in the UHV system. |
| |
| Keywords: | Multilayer Soft X-ray optics |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
