工艺因素对二氯二氢硅反歧化反应的影响 |
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作者姓名: | 侯二林 宋安宁 秦渊博 |
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作者单位: | 陕西天宏硅材料有限责任公司,陕西成阳,712000 |
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摘 要: | 在特定催化剂作用下采用固定床的方法,消耗二氯二氢硅和四氯化硅生产出氯硅烷(三氯氢硅和四氯化硅的混合物)。分别研究四氯化硅、三氯氢硅在不同配比和温度下对氯硅烷二氯二氢硅的影响。采用气相色谱对三氯氢硅的体积分数进行测试。结果表明,当反应压力0.9MPa(G)、反应温度80℃时,二氯二氢硅的转化率达到极大值。
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关 键 词: | 氯硅烷 二氯二氢硅 四氯化硅 |
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