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工艺因素对二氯二氢硅反歧化反应的影响
作者姓名:侯二林  宋安宁  秦渊博
作者单位:陕西天宏硅材料有限责任公司,陕西成阳,712000
摘    要:在特定催化剂作用下采用固定床的方法,消耗二氯二氢硅和四氯化硅生产出氯硅烷(三氯氢硅和四氯化硅的混合物)。分别研究四氯化硅、三氯氢硅在不同配比和温度下对氯硅烷二氯二氢硅的影响。采用气相色谱对三氯氢硅的体积分数进行测试。结果表明,当反应压力0.9MPa(G)、反应温度80℃时,二氯二氢硅的转化率达到极大值。

关 键 词:氯硅烷  二氯二氢硅  四氯化硅
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